FPD產業設備預知保養技術研討會(2013/07/05)
FPD 產業設備預知保養研討會議程表
1020705 9:00-16:00 中科管理局工商服務大樓 401訓練教室
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時間 |
題目 |
主持人/主講人 |
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08:50~09:00 |
報到 |
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09:00~09:10 |
主席致歡迎詞 |
TTLA設備委員會 黃立維主委 |
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09:10~12:00 |
Malin(Qulee) 真空ROBOT O/H TURBO PUMP CRYO PUMP O/H等 |
ULVAC 林建峯處長 |
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12:00~13:00 |
午餐 |
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13:00~14:00 |
Feed-through O/H |
應用奈米 蘇大榮副總經理 |
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14:00~15:00 |
Refurbish清洗/Shadow Frame/Diffuser/ Susceptor |
世界中心GMS 劉文祥經理 |
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15:00~16:00 |
Overhaul電控/RF Generator/Matching Box |
純化 陳尚瑋經理 |
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16:00~ |
散會 |
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| 活動日期 | 2013年07月05日(五) 09:00 - 16:00 |
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| 活動地點 | 中科管理局工商服務大樓 401訓練教室 |
| 報名截止 | 2013年6月28日(五) |
| 報名費用 | 免費 |
